在設(shè)備設(shè)計(jì)上,采用成熟、可靠、先進(jìn)、自動(dòng)化程度高的兩級(jí)RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后的超純水出水水質(zhì)電阻率達(dá)到18.2 MΩ.cm。關(guān)鍵設(shè)備及材" />

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半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品清洗用超純水設(shè)備

半導(dǎo)體設(shè)備1.jpg

概述
    在設(shè)備設(shè)計(jì)上,采用成熟、可靠、先進(jìn)、自動(dòng)化程度高的兩級(jí)RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后的超純水出水水質(zhì)電阻率達(dá)到18.2 MΩ.cm。關(guān)鍵設(shè)備及材料均采用國(guó)際主流先進(jìn)可靠產(chǎn)品,采用PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本,水利用率高,運(yùn)行可靠,經(jīng)濟(jì)合理。使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。我們公司專業(yè)生產(chǎn)RO+EDI+精混床超純水設(shè)備,有多年的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),尤其在電控系統(tǒng)PLC方面在水處理行業(yè)技術(shù)都是比較成熟,我們也有做過(guò)很多各行業(yè)的水處理設(shè)備,這方面我們有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們公司做出來(lái)的設(shè)備質(zhì)量比他們都有優(yōu)勢(shì),在國(guó)內(nèi)具有一定的市場(chǎng)竟?fàn)幜ΑT摦a(chǎn)品由于具備性能好、價(jià)格低于國(guó)外同類產(chǎn)品價(jià)格、供貨及時(shí)、售后服務(wù)方便快捷等諸多優(yōu)勢(shì)。在太陽(yáng)能光伏電池、LED、LCD、顯像管、液晶顯示器、半導(dǎo)體、光電光學(xué)企業(yè)的脫鹽水和超純水裝置,得到了業(yè)界的廣泛贊譽(yù),歡迎廣大客戶前來(lái)參觀考察。半導(dǎo)體行業(yè),其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),是鋅或其他金屬的硫化物組成的熒光粉顆粒并用硅酸鉀粘合而成,其配制需用超純水,如純水中含銅在8ppb以上,就會(huì)引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會(huì)使發(fā)光變色、變暗、閃光跳躍;含有機(jī)物膠體、微粒、細(xì)菌等,就會(huì)降低熒光層強(qiáng)度及其與玻殼的粘附力,并會(huì)造成氣泡、條跡、漏光點(diǎn)等廢次品。在黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)的12個(gè)工序中,玻殼清洗、沉淀、濕潤(rùn)、洗膜、管頸清洗等5個(gè)工序需使用純水,每生產(chǎn)一個(gè)顯像管需用純水80kg[1]。液晶顯示器的屏面需用純水清洗和用純水配液,如純水中存在著金屬離子、微生物、微粒等雜質(zhì),就會(huì)使液晶顯示電路發(fā)生故障,影響液晶屏質(zhì)量,導(dǎo)致廢、次品。顯像管、液晶顯示器生產(chǎn)對(duì)純水水質(zhì)的要求。
 

半導(dǎo)體設(shè)備2.jpg

半導(dǎo)體行業(yè)用超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):
    我公司半導(dǎo)體行業(yè)用超純水出水水質(zhì)完全符合美國(guó)ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn))、我國(guó)電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備對(duì)水質(zhì)的要求:
    新興的光電材料生產(chǎn)、加工、清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、FPC/PCB線路板、電路板、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對(duì)水質(zhì)的要求也越高,這也對(duì)超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。
半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備應(yīng)用場(chǎng)合:
☆電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗
☆電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
☆顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水
☆黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤(rùn)、洗膜、管頸清洗用純水
☆液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液
☆晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制
☆ 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片
☆半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路
☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏
☆高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)
☆半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗
☆超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料
☆實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間
☆汽車(chē)、家電表面拋光處理
☆光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水制備工藝流程圖:

半導(dǎo)體工藝流程.png

設(shè)備優(yōu)點(diǎn)
    為滿足用戶需要,達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì),盡可能地減少各級(jí)的污染,延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量.在工藝設(shè)計(jì)上,取達(dá)國(guó)家自來(lái)水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水,再設(shè)有介質(zhì)過(guò)濾器,活性碳過(guò)濾器,鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等。系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無(wú)人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

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